電気/電子用語の定義:MEMS

電気/電子用語:MEMS 

定義

「Micro Electronic Mechanical Systems」の頭文字をとった言葉、またはマイクロエレクトロメカニカル・システムのこと:機械部品と電気部品を組み合わせたシステムで、半導体製造技術を用いて製造される。一般例としては、センサとアンプ、またはセンサと信号処理回路を組み合わせた、圧力および加速センサが挙げられる。その他のアプリケーションとしてスイッチ、バルブ、および導波管がある。
同義語
  • Microelectromechanical systems
キーワード

マイクロエレクトロメカニカル, mems, micro, マイクロ

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