チュートリアル 5418

精密制御によるMEMS (Microelectromechanical Systems)の駆動


要約: MEMS (Microelectromechanical Systems)の導入数は増加しており、かつては不可能と考えられていた作業が可能になっています。このチュートリアルでは、MEMSのアプリケーションと、これらのデバイスを対象とした精密制御とドライバの提供の必要性の増大について解説します。設計および製造に関する項目も併せて検討します。